【物机】祁红艳《电子元件与材料》

发布者:kyzx发布时间:2020-01-18浏览次数:10

PZT/NFO/LSMO多层磁电外延薄膜微观结构研究

祁红艳王怀兴邓永菊刘勇汪川慧

用脉冲激光沉积法在(110)取向的 SrTiO3(STO) 单晶衬底上制备了 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/NiFe2O4/La0.7Sr0.3MnO3(PZT/NFO/LSMO) 磁电复合外延薄膜, 并用 X 射线衍射和透射电镜技术研究了外延薄膜的物相和显微结构。 原子力显微镜结果表明 PZT、 NFO 和 LSMO 薄膜表面均平整, 晶粒尺寸分布均匀, 表面粗糙度分别为1.8,1.7 和 0.2nm。 X 射线衍射、选区电子衍射和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)测试结果均证明各层薄膜沿(110)STO 衬底外延生长, 其外延关系为(110)PZT//(110)NFO//(110)LSMO//(110)STO 和[001]PZT//[001]NFO//[001]LSMO//[001]STO。 HRTEM 结果显示,NFO/LSMO 界面和 LSMO/STO 界面平整外延性好, 无缺陷, 而 PZT/NFO 界面较粗糙; NFO 薄膜表面呈锯齿状, 锯齿状面为立方 NFO 的能量最低 {111} 面, 而 PZT 薄膜表面呈岛状, 进一步的显微结构分析认为 PZT 薄膜为层状... 更多

湖北省自然科学基金(2015CFB398, 2018CFB178);

PZT/NFO/LSMO外延薄膜; TEM; 微观结构; 脉冲激光沉积; 磁电耦合; 生长模式;

10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.01.002

TB383;O614.8